Los parámetros del grabado con plasma que pueden modificarse son la energía, la presión, el tiempo de proceso, el flujo del gas reactivo, la velocidad de flujo de los reactivos y la temperatura.

En los sistemas de grabado con plasma, las especies reactivas son importantes.

La siguiente es una lista de las características que deben tener las especies reactivas:

• Alta selectividad, es decir, que graben únicamente el material de sustrato y no el material de enmascaramiento
• Alta velocidad de grabado del material de sustrato
• Buena uniformidad del grabado
• Alta seguridad

La presión del grabado con plasma controla las cantidades de iones y de radicales libres en general. La energía de radiofrecuencia (RF) de entrada debe elegirse para obtener la mayor velocidad de grabado y evitar con ello que se grabe material que no debe ser grabado.